| 材质 | 石墨 |
|---|---|
| 产地 | 上海 |
| 类型 | 依客户需求定制 |
| 加印LOGO | 可以 |
| 货源类别 | 现货 |
| 品牌 | SGL西格里 |
| 加工定制 | 是 |
这家SiC衬底企业获数亿元D轮融资，第三代半导体材料市场爆发在即！
在半导体行业中，高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温这一特点。高纯石墨的耐腐蚀、抗氧化、导电导热的优点应用到了半导体工业中，使工件使用寿命更长、更加减磨省电。我司主要采用德国半导体等级石墨材料，精密制作离子注入用石墨耗材，提供标准件及客制化规格。
高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力，很强的抗腐蚀性，纯度高没有金属离子不会对半导体产生污染，金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。用于等离子cvd用部件 等离子vcd用感受器、电极室、喷嘴、内衬、溅射用电极、movcd感受器等。